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记者12月17日从中电科电子配备集团得悉,该集团部属红太阳光电公司自主研发的 作为光伏电池制备的一大重要工序,惯例PECVD镀膜设备的商场之间的竞赛日趋激烈,干流设备各方面功能迥然不同,急需高产能、低本钱、高稳定性、高工艺质量的新设备机型打破商场之间的竞赛格式。 红太阳光电根据15年的光伏配备范畴经历,以自研PECVD镀膜设备为根底,对设备产能、本钱、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步,跳出传统的单管单层舟规划思路,推出新式大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。 据介绍,该设备打破市道惯例设备反响室结构,立异选用双舟叠放规划,单管载片量从768片提高至1368片,反响室的空间利用率从42%提高至50%,单机设备产能提高15%。 |
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